PlasmaCCP 소개
PlasmaCCP란
PlasmaCCP는 챔버·공정 탐색을 위한 빠른 RF CCP 트렌드 시뮬레이터입니다. 공정 엔지니어와 플라즈마 연구자를 대상으로 합니다.
대상 사용자
실험이나 고정밀 분석에 투자하기 전에 초기 챔버·공정 옵션을 빠르게 검토해야 하는 팀을 위해 만들었습니다.
무엇을 하고 무엇을 하지 않나요
PlasmaCCP는 형상, 가스 혼합, 압력, 전력, bias와 관련 출력의 트렌드를 스크리닝하는 데 도움을 줍니다. 실험, 챔버 계측, 고정밀 상용 시뮬레이션을 대체한다고 주장하지 않습니다.