가이드

시뮬레이터를 열고 300 mm CCP 기준선을 쓰거나 드롭다운에서 공정 프리셋을 선택하세요. 기준선은 비교 기준점이 되고, 프리셋은 일반 공정의 설정 시간을 줄여줍니다.

수정 전에 기준선 결과를 저장해두면 나중에 깔끔하게 비교할 수 있습니다.

Geometry Editor에서 챔버 레이아웃을 확인하고 편집하세요. 편집 도구는 Basic·Advanced 두 모드에서 동일하게 쓸 수 있습니다:

• 좌측 도구 레일로 rect, circle, polyline을 그립니다.
• Properties 패널에서 역할(전원 전극, 웨이퍼, 유전체, 펌핑 포트)을 지정합니다.
• Auto Chamber로 구조물 주위 챔버 경계를 자동으로 맞춥니다.
• Snap to Grid를 켜면 정밀하게 배치할 수 있고, 선택한 형상에 치수가 표시됩니다.
• 메뉴 바의 Align 도구로 도메인 경계 기준으로 형상을 정렬합니다.

Validation 패널에서 겹치는 형상, 도메인 이탈, 누락된 역할(전원 전극, 펌핑 포트)을 실시간으로 확인할 수 있습니다.

우선 Basic 모드로 작업하세요. 다중 RF 소스, 영역별 DC 바이어스, 보정 계수, 자기장, 모델·표시 옵션이 필요할 때 Advanced로 넘어가세요. 메시 제어는 모드와 무관하며 Pro 플랜에서 열립니다.

사이드바에서 가스, 압력, 전력, bias, 주파수를 조정하세요. 한 번 실행할 때 변경 항목을 하나로 제한하면 버전 비교와 Compare 결과를 훨씬 쉽게 해석할 수 있습니다.

Run을 누르면 결과가 표시됩니다:

• 요약 카드 — 핵심 수치를 먼저 확인하세요.
• 전계 맵 — 형상·전력 변경에 따른 전계 집중 변화를 확인하세요.
• 전자 밀도 맵 — 공간 분포 트렌드를 봅니다.
• 전력 흡수 밀도 — 이전 실행 대비 에너지 분포 변화를 봅니다.
• Te (eV) 맵 — 전자 온도의 공간 트렌드 (플라즈마 외부 0, 평균은 0D 에너지 밸런스에 정합)
• Sheath 진단 — 방향성 지표로만 활용하세요; 공인된 절대값이 아닙니다.

로그인 후 이름을 지정하고 저장하세요. 이후 편집은 새 버전으로 저장되어 이전 상태로 되돌릴 수 있습니다. 저장된 형상은 계정에 비공개로 보관됩니다.

Compare에서 두 실행을 나란히 놓고 비교하거나, Split Test로 Base와 Variant를 정의해 변수 하나의 영향을 확인하세요. 두 기능 모두 결제 연동 준비 중으로 접근이 제어됩니다.